黑龙江大学自然科学学报

2017, v.34(04) 437-442

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退火气氛对铽掺杂氧化锌纳米薄膜发光性能的影响
Effect of annealing atmosphere on photoluminescent properties of Tb doped zinc oxide thin films

李亚男;程晓丽;霍丽华;赵辉;

摘要(Abstract):

以Zn(Ac)_2 2H_2O和Tb_4O_7为原料,采用溶胶-凝胶、浸渍-提拉技术在单晶硅(100)衬底上制备了铽掺杂的氧化锌(ZnO∶Tb)薄膜。分别在氮气和氢气气氛下对薄膜进行退火处理,并进行了XRD、IR、EDS和AFM表征,同时结合荧光光谱测试详细研究了退火气氛对薄膜发光性质的影响。结果表明,经氮气和氢气气氛处理的薄膜中,ZnO∶Tb粒子均具有六方纤锌矿结构,且排列致密均匀,相应的ZnO∶Tb粒径分别为59和45 nm。经氮气气氛处理的ZnO薄膜,掺杂前后的发光情况变化显著,由485 nm的蓝光发射移到382 nm的紫外发射。用氢气进行退火处理时,掺杂前后薄膜的荧光光谱都由强的紫外发射和弱的蓝光发射组成,但掺杂后薄膜的紫外光发射减弱,蓝光发射增强。薄膜层数为3、Tb掺杂量为3.85 mol%时,ZnO∶Tb薄膜的荧光发射效果最佳。

关键词(KeyWords): ZnO薄膜;Tb掺杂;发光;气氛

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(51472077;51302067);; 黑龙江大学青年科学基金资助项目(QL201512)

作者(Author): 李亚男;程晓丽;霍丽华;赵辉;

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